Operatsioonipõhimõte:
Multi-a-a-a-a-a-kattemasin on seade, mis kasutab vaakumkaare tühjenemise põhimõtet katoodi sihtmärgi (lähtematerjali) aurustumiseks ja ioniseerimiseks vaakumkeskkonnas ja deponeerige see tooriku pinnale õhukese kile moodustamiseks.
Rakendused:
- Parandage tööriistade, lõikurite ja vormide jõudlust ja eluiga (kõva kattekiht)
- Pakub esteetiliselt meeldivaid, vastupidavaid, keskkonnasõbralikke dekoratiivpindu (dekoratiivkatted)
- Parandage mehaaniliste osade kulumiskindlust, hõõrde vähendamist ja korrosioonikindlust (funktsionaalne katmine)
Funktsioonid:
Kõrge ionisatsiooni määr:
Suurepärane filmibaasi sidumine, suurepärane tihe struktuur ja hea jõudlus.
Suure energiaga ioonide pommitamine:
Aitab moodustada tihedaid, tugevalt ühendatud kilesid ja seda saab ladestada madalamatel temperatuuridel.
Kõrge sadestumise määr:
Võrreldes teiste PVD-tehnoloogiatega on mitme ARC-plaadimisel üldiselt suurem sadestumiskiirus.
Sobib kõvade kattete jaoks:
Eriti hea on see erinevate metallnitriidide, karbiidide, oksiidide ja muude ülitugevate, kulumiskindlate ja korrosioonikindlate kattete (nt tina, CRN, Tialn, DLC jne) deponeerimisel ning seda kasutatakse laialdaselt tööriistades, vormide, kulumisresistentsete osade, dekoratiivsete ja muude väljadena.
Spetsifikatsioon:
| Mitme a-a-a-kattemasin | |||||||
|
Mudel |
HL-600 |
HL-800 |
HL-1000 |
HL-1200 |
HL-1400 |
HL-1500 |
HL-1600 |
|
Kambri suurus |
Φ600 × 800mm |
Φ800 × 1000mm |
Φ1000 × 1200mm |
Φ1200 × 1400mm |
Φ1400 × 1600mm |
Φ1500 × 1500mm |
Φ1600 × 1800mm |
|
Vaakumüksus |
KT400 difusioonipumba seade |
KT500 difusioonipumba seade |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Topelt KT630 difusioonipumba seade |
Topelt KT630 difusioonipumba seade |
Topelt KT630 difusioonipumba seade |
|
Kattesüsteem |
Spetsiaalne mitme a-kuriga katte toiteallikas + mitmefunktsionaalne kaksikmagnetrõnga kaare sihtmärk + silindriline kaare sihtmärk (valikuline) |
||||||
|
Lisakattesüsteem |
Madala temperatuuriga ioonide abiga allikas (küttesüsteem pole vaja, välja arvatud tööriistade plaadistamine) |
||||||
|
Inflatsioonisüsteem |
Massivoolumõõtur |
||||||
|
Juhtimismeetod |
Käsitsi või täielikult automaatne |
||||||
|
Pumpamiskiirus |
5 × 10-3Pa ﹤ 15min |
||||||
|
Ülim vaakum |
5x10-4Pa |
||||||
|
Märkus |
Ülaltoodud seadmete parameetrid on mõeldud ainult ning need on kavandatud ja kohandatud vastavalt klientide tegelikele protsessinõuetele. |
||||||
Kuum tags: Mitme aarjuga kattemasin, Hiina mitme a-kurega kattemasina tootjad, tarnijad, tehas
