Elektronkiire aurustamine seisneb kilematerjali asetamises vesijahutusega vasktiiglisse ja otse elektronkiirega kuumutamise abil, et kilematerjalis olevad aatomid või molekulid aurustuksid ja pinnalt välja pääseksid, seejärel sisenevad substraadi pinnale ja kondenseeruvad kileks.
Elektronkiire aurustamisel on kõrgem soojusefektiivsus, suurem kiire voolutihedus, kiirem aurustumiskiirus ja suurem kile puhtus kui üldisel takistuskütte aurustamisel.
Rakendused:
Optiline katmismasin suudab katta mitmesuguseid kilesüsteeme suure hulga kihtidega, näiteks lühi{0}}laine läbilaskvus, pika-laine läbipääs, peegeldusvastane kile, peegeldav kile, filterkile, spektroskoopiline kile, ribapääsfilm, dielektriline kile, suure-peegeldusvõimega kile, värvipeegelduskile jne.
See võib saavutada 0–50 kilekihi kilekatte ja vastata ka selliste toodete katmisnõuetele nagu autode peegeldav klaas, prillid, optilised läätsed, külma valguse tassid jne.
See võib katta mitmesuguseid kilesüsteeme erinevate aurustusallikate, elektronpüstolite, iooniallikate ja kile paksusemõõturitega ning aurustada metalle, oksiide, ühendeid ja muid kõrge -sulamistemperatuuriga-kilematerjale.
Omadused:
Optiline katmismasin on varustatud kvartskristalli kile paksuse mõõtjaga ning PLC ja puuteekraani süsteem on kombineeritud, et realiseerida kogu tööprotsessi automaatne juhtimine, suurepärase töötõhususe ja tootekvaliteedi korratavusega.
Sobib kasutamiseks tootjatele optikavaldkonnas ja suuremahuliste{0}}tööstusliku tootmise nõuetele.
Spetsifikatsioon:
| Optiline katmismasin | |||||||
|
Mudel |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kambri suurus |
Φ800 × 1000 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1400 × 1600 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
Φ1000 × 1100 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
|
Vaakumüksus |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
KT500 difusioonipumba seade |
KT630 difusioonipumba seade |
Kahekordne KT630 difusioonipump |
|
Kattesüsteem |
Elektronpüstoli aurustusallikas, katte lisaioonide spetsiaalne toiteallikas või Halli iooniallikas |
||||||
|
Inflatsioonisüsteem |
Survekontroller |
||||||
|
Kontrolli meetod |
Käsitsi või täisautomaatne |
||||||
|
Kile paksuse jälgimise süsteem |
Kvartskristallide kile paksuse jälgimise süsteem |
||||||
|
Pumpamiskiirus |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Ülim vaakum |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Märkus |
Ülaltoodud seadmete parameetrid on ainult viitamiseks ning on kavandatud ja kohandatud vastavalt klientide tegelikele protsessinõuetele. |
||||||
Kuum tags: e-beam optiline kattekiht, Hiina e-kiiroptiliste kattekihtide tootjad, tarnijad, tehas
