Esiteks peame selgitama, et vaakumkambri saastumine hõlmab sisuliselt mitmesuguseid lisandeid (veeaur, süsivesinikud, tolm, rasv jne), mis kleepuvad kambri seintele või sisemiste komponentide pindadele, moodustades gaasi- ja auruallikaid, mis rikuvad vaakumkeskkonna tasakaalu. Need saasteained pärinevad väga erinevatest allikatest, sealhulgas tooriku töötlemisel tekkinud lõikevedeliku ja määrdeainete jäägid, käte higi töötamise ajal, õhus lenduv tolm ja isegi vaakumpumba poolt tekitatud saastejäägid või sihtmaterjalist või substraadist lenduvad ained. Olenemata saastumise tüübist on põhiline taaskasutamise strateegia "täpne lisandite eemaldamine ilma kambri materjali kahjustamata ja vaakumkeskkonna taastamine". Erinevat tüüpi saaste puhul on vaja erinevaid taastamismeetodeid.
1. meetod: Kuumutamine lisandite "aurustamiseks" - Vaakumkuumutusega puhastusmeetod See on kõige elementaarsem ja sagedamini kasutatav taastamismeetod. Põhimõte on väga lihtne: nii nagu veeplekkidega riiete kuivatamine, põhjustab kuumutamine kaviteedi pinnal lenduvate lisandite (nt veeaur ja mahedad süsivesinikud) aurustumist ning seejärel eemaldatakse need vaakumpumba abil, saavutades seeläbi puhastamise.
2. meetod: saasteainete "lagundamine" ultraviolettkiirgusega - Ultraviolettkiirguse puhastamise meetod. Kui õõnsuse saaste koosneb peamiselt süsivesinikest (nt määrdeõli jääk ja orgaanilised saasteained), on ultraviolettkiirgusega puhastusmeetod tõhusam. Lisaks on see kogu protsessi vältel mitte-kontaktne ja mitte{5}}kahjustav, mistõttu on see eriti sobiv stsenaariumide jaoks, kus on väga kõrged materjalinõuded, nagu täppisoptilised õõnsused ja pooljuhtide vaakumõõnsused.
3. meetod: ioonide "pommitamine" saastest puhastamise - heitepuhastusmeetod. Kõrgvaakumi ja ülikõrge vaakumiga õõnsuste (nagu vaakumkatmisseadmed ja pooljuhtide ioonide implantatsiooniõõnsused) puhul on saaste sageli tugevam, eriti roostevabast terasest õõnsuste pinnal olevad süsiniku ja süsivesinikud, mida on tavaliste meetoditega raske eemaldada. Sel juhul on vaja tühjenduspuhastusmeetodit, mis on ühtlasi ka vaakumõõnsuste sügava taastamise põhimeetod.
4. meetod: gaasiga lisandite "loputamine" - Gaasi loputusmeetod Kui õõnsus on vaid veidi saastunud või kui on vaja kiiret taastumist ja evakueerimisaja lühendamist, on parim valik gaasiloputus. See jaguneb lämmastiku loputamiseks ja reaktiivgaasi loputamiseks, mis sobivad erinevate stsenaariumide jaoks.
Rõhku tuleks panna-saastumisjärgsele kaitsele: pärast taastamist tuleb õõnsust hoida õlist ja tolmust eemal. Töötamise ajal tuleb võtta kaitsemeetmeid ja vaakumpumpa tuleks regulaarselt hooldada, et vähendada uuesti saastumise võimalust. See on eriti oluline valdkondades, kus on väga kõrged puhtusnõuded, nagu pooljuhid ja kosmosetööstus, kus õõnsuste puhtus määrab otseselt toote eluea ja jõudluse. Vaakumõõnsuse puhtus on tipptasemel-vaakumprotsesside "päästerõngas". Tegelikult saab nende nelja põhilise taastamismeetodi valdamise ning saasteastme ja õõnsuse materjali põhjal sobiva meetodi paindliku valimise abil hõlpsasti lahendada õõnsuste saastumise probleemid, tagades vaakumsüsteemi stabiilse töö. Täppistöötlemistööstuse arenedes täieneb pidevalt ka tolmuimeja tehnoloogia, alates traditsioonilisest küttepuhastusest kuni keskkonnasõbraliku ja tõhusa tühjendus- ja plasmapuhastuseni. Üha enam meetodeid kaitseb vaakumõõnsuste puhtust, kaitstes kvaliteetset-tootmist.
Tere tulemast külastama meie Tiktokithttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine rohkemate masinavideote jaoks, tänan teid.
