
Roll-to-Roll (R2R) hübriidkatmisseadmedmagnetroni pihustamise ja aurustamise integreerimine ühendab endas magnetroni pihustamisest tuleneva tiheda kile moodustumise ja aurustamisest tuleneva kiire sadestamise eelised. See on suure jõudlusega integreeritud masstootmislahendus elastsete kangaste pidevaks vaakumkatmiseks.
TheR2R katmismasinSellel on sõltumatult jaotatud vaakumkambrid, et vältida protsessiatmosfääri ristsaastumist. See võimaldab mitmekihiliste funktsionaalsete kilede paindlikku ümberlülitamist või järjestikust sadestamist. Magnetron-pihustamist kasutades toodab see järjekindlalt tihedaid kilesid, nagu ITO, AZO, oksiidid, nitriidid ja sulamid, millel on tugev nakkuvus, minimaalsed augud ja ühtlane, stabiilne kilepaksus.
Varustatud aurustusmooduliga saavutab metallikihtide, sealhulgas alumiiniumi ja hõbeda kiire sadestamise, tasakaalustades suurepärase kvaliteedi ja suure läbilaskevõime.
See võtab kasutusele täisprotsessi madala temperatuuriga mähise ja täpse konstantse pinge juhtimissüsteemi, mis ühildub erinevate painduvate aluspindadega, sealhulgas PET, PI, PP, metallfoolium ja lausriie, vältides substraadi termilist deformatsiooni, kortsumist ja võrgu purunemist.
See on integreeritud plasma eeltöötluse, kile paksuse jälgimise ja suletud ahela juhtimisega, mis toetab 24-tunnist katkematut pidevat tootmist ja vähendab oluliselt pinnakatte maksumust pinnaühiku kohta.
See sobib laialdaselt selliste rakenduste jaoks, nagu tahkispatareide komposiitvoolukollektorid, painduva fotogalvaanika tõkkekapselduskiled, painduvad puutetundlikud juhtivad kiled, elektromagnetilised varjestuskiled, madala võimsusega energiasäästlikud optilised kiled, kõrge tõkkega esmaklassilised pakkekiled, autoaknakiled ja eritekstiilide funktsionaalne kate.
See toetab mitut protsessi ühes masinas ja hõlmab erinevaid rakendusradasid, aidates klientidel kiiresti liikuda uurimis- ja arendustegevuse proovide võtmiselt masstootmiseni. See pakub stabiilset ja usaldusväärset vaakumkatte lahendust paindlikule funktsionaalkiletööstusele.
