Magnetron-pihustamisega vaakumkatmismasinates nimetatakse kaetavat materjali substraadiks ja kaetavat materjali sihtmärgiks. Nii substraat kui ka sihtmärk asuvad vaakumkambris. Aurustuskate hõlmab tavaliselt sihtmärgi kuumutamist, et aurustada pinnakomponente aatomiklastrite või ioonide kujul. Need aurustunud komponendid sadestuvad seejärel substraadi pinnale, moodustades kile-moodustumisprotsessi (hajutatud-saare struktuur-rändstruktuur-kihi kasv) käigus õhukese kile.
Pommitavate katete puhul võib seda mõista lihtsalt elektronide või suure energiaga laserite kasutamisena sihtmärgi pommitamiseks, pinnakomponentide pihustamine aatomiklastriteks või ioonideks, mis seejärel sadestuvad substraadi pinnale, läbides kile, moodustades lõpuks õhukese kile.
Kasutusprotseduurid: Juhtkapi kasutamine
1. Lülitage sisse veepump ja õhuvarustus.
2. Lülitage põhitoiteallikas sisse.
3. Lülitage sisse hoidepump ja vaakummõõtur. Seadke vaakummõõtur asendisse V1 ja oodake, kuni väärtus on väiksem kui 10, enne kui jätkate järgmise sammuga. Selleks kulub umbes 5 minutit.
4. Lülitage mehaaniline pump eelevakueerimiseks sisse-. Lülitage turbomolekulaarpump sisse ja käivitage see. Lülitage vaakummõõturi lüliti asendisse V2 ja tühjendage, kuni väärtus on väiksem kui 2. Selleks kulub ligikaudu 20 minutit.
5. Kui turbomolekulaarse pumba näit jõuab 250-ni, lülitage eel-evakueerimine välja. Evakueerimise jätkamiseks lülitage sisse esipump ja kõrgvaakumklapp. Alles pärast teatud vaakumitaseme saavutamist saate paremal asuva kõrgvaakummõõturi sisse lülitada ja vaakumi astet jälgida. Elektronpüstoli võimsust saab sisse lülitada alles pärast seda, kui vaakum saavutab 2 × 10⁻³.
DEF-6B toimimine:
1. Põhitoide.
2. Lülitage samaaegselt sisse Electron Gun Control I ja Electron Gun Control II: vajutage toite- ja viivituslülitit Electron Gun Control I jaoks. Viite-, toite- ja kaitsetuled süttivad. Kolme minuti pärast lülituvad viite- ja kaitsetuled välja. Kui tagumine uks ei ole korralikult suletud või veevoolu relee talitlushäire, jääb kaitsetuli põlema.
3. Lülitage kõrgepinge sisse. Kõrgepinge ulatub üle 10 KV. Reguleerige valgusvihu voolutugevus ligikaudu 200 mA-ni. Ekraani võrk on 20V/100mA, hõõgniidi vool on 1,2A ja läbipaindevool kõigub 1 ja 1,7A vahel.
