Paljude PVD-projektide puhul puututakse sageli kokku väga tüüpilise probleemiga:
Samal toorikul on mõned alad väga paksud, teised aga väga õhukesed, mõnikord väga ilmsete erinevustega.
Paljude inimeste esimene reaktsioon on: kas pöörleva raamiga on probleeme? Kas pöörlemine on ebaühtlane?
Nii et nad alustavad: mootori kontrollimine, kiiruse reguleerimine, kinnituse optimeerimine.
Kuid tulemuseks on sageli: paranemine on piiratud või isegi muutuste puudumine.
See illustreerib põhipunkti:
Ebaühtlane paksus pole mitte ainult "pöörlemisprobleem", vaid ka "plasma leviku probleem".
Esiteks järeldus: see on "ruumilise jaotuse probleem".
Kile paksus sõltub sisuliselt: aatomivoost, mis jõuab pinnale ajaühikus.
Ja see voog on sageli: ruumiliselt ebaühtlane{0}}.
Teisisõnu: töödeldava detaili poolt vastuvõetav "materjalivoog" on erinevates kohtades erinev.
Teiseks. Mida täpselt rotatsioon lahendab?
Paljude inimeste arusaam rotatsioonist on järgmine:
"Tee filmikiht ühtlaseks"
Kuid täpsem arusaam on järgmine:
Pööramine lihtsalt "keskmistab ebatasasuse", mitte ei kõrvalda seda.
Lihtne näide: Kui plasmajaotus on: ühel küljel tugev, ühel küljel nõrk, pärast pöörlemist: toorik läbib perioodiliselt tugevaid ja nõrku piirkondi. Tulemus: saadakse "keskmine väärtus".
Kuid eeldus on:
Erinevus ei saa olla liiga suur
Kui erinevus on liiga suur:
Ükskõik kui palju te seda keerate, ei ole see kunagi täiesti ühtlane.
Kolmandaks. Millal on "rotatsiooniprobleem"?
Funktsioon 1: paksus muutub perioodiliselt
Näiteks:
Paksus muutub regulaarselt iga pöördega
Funktsioon 2: halb konsistents erinevate toorikute vahel; mõned on head, mõned on halvad.
Funktsioon 3: kiiruse reguleerimise märkimisväärne paranemine.
Levinud põhjused: Ebastabiilne pöörlemiskiirus; Pöörlemise ekstsentrilisus; Asümmeetriline tooriku paigutus.
Järeldus: pöörlemisprobleemide põhiprobleem on "ebaühtlane ajajaotus".
Edasi. Millal on tegemist "plasmaprobleemiga"? (Sagedasem)
Iseloomulik tunnus 1: alati paks teatud suunas
Ükskõik, kuidas see pöörleb, on see piirkond alati paksem.
Funktsioon 2: üldine "ruumiline nihe"
Näiteks: sihtmärgile lähemal asuv külg on paksem, kaugemal olev külg aga õhem.
Funktsioon 3: kõigil töödeldavatel detailidel on sarnased mustrid.
Levinud põhjused:
1. Ebaühtlane magnetvälja jaotus; Ebaühtlane sihtmärgi erosioon; Ebaühtlane plasma tihedus
2. Õõnsuse struktuuri mõju: takistus, peegeldus
3. Mitme -sihtmärgi interferents: erinevate sihtmärkide ebaühtlane superpositsioon.
4. Ebamõistlik tooriku asendi kujundus
Järeldus:
Plasmaprobleemi tuum on "ebaühtlane ruumiline allikas"
Viiendaks. Peamine eksiarvamus
Paljud inimesed seisavad silmitsi ebatasasusega,
nende esimene reaktsioon on pöörde reguleerimine. Kuid tegelikkuses: Rotatsioon saab probleemi ainult leevendada, mitte seda ravida.
Kui algpõhjus on plasma tõsine ebahomogeensus, on pöörlemiskiiruse suurendamine vaid ajutine lahendus.
Kuues. Kuidas kiiresti probleemi tüüpi kindlaks teha?
Siin on praktiline meetod:
1. meetod: töödeldava detaili kinnitamine (ilma pöörlemata)
Jälgige: Kile paksuse jaotus
Kui sel hetkel: Jaotus on juba tõsiselt ebaühtlane; Järeldus: plasmaprobleem.
2. meetod: muutke pöörlemiskiirust
Kui:
Pöörlemiskiiruse muutus → Ühtsuse oluline muutus
Järeldus: Rotatsiooniprobleem
3. meetod: muutke tooriku asukohta
Kui: Muuda positsiooni → Muuda jaotust
Järeldus: ruumilise leviku probleem
Seitsmes. Tõeliselt tõhusad optimeerimisstrateegiad
1. Seadke prioriteediks "Ruumiline jaotus"
Sihtpositsiooni optimeerimine; reguleerida magnetvälja; parandada õõnsuse struktuuri
2. Optimeerige rotatsioonistrateegiat veelgi
Pöörlemiskiirus
Pöörlemise trajektoor
Võnkuv režiim
3. Optimeerige tooriku paigutust: vältige takistusi ja parandage sümmeetriat.
4. Mitme-sihtmärgi koostöödisain: võimaldab erinevatel sihtmärkidel moodustada "ühtse superpositsiooni".
Kaheksas. Oluline kognitiivne uuendus
Paljud inimesed mõistavad probleemi järgmiselt:
"Ebaühtlane membraani struktuur on mehaaniline probleem."
Kuid põhimõttelisem arusaam on järgmine:
See on "ebaühtlase massitranspordi" probleem.
Teisisõnu on materjali tee sihtmärgist toorikuni ruumiliselt ebaühtlane.
Üheksas. Lõplik kokkuvõte
Kas sama tooriku suur paksuse erinevus on pöörlemise või plasmaga{0}}seotud probleem?
Vastus on:
See võib olla rotatsiooniprobleem, kuid sagedamini on see plasmajaotuse probleem. Peamine erinevus on järgmine:
Rotatsiooniprobleemid → ajaline ebatasasus; Plasmaga{0}}seotud probleemid → ruumiline ebatasasus.
