Vaakumkatmismasinate vaakumtoru katmise põhimõte seisneb selles, et elektrivälja mõjul substraadi poole kiirendatud elektronid põrkuvad argooni aatomitega, ioniseerudes suureks hulgaks argooniioonideks ja elektronideks. Seejärel lendavad elektronid substraadi poole. Elektrivälja poolt kiirendatud argooniioonid pommitavad sihtmaterjali, pritsides välja suure hulga sihtmärkaatomeid, mis neutraalsete sihtaatomitena (või molekulidena) ladestuvad substraadile, moodustades kile. Sekundaarseid elektrone mõjutab nende kiirendamise ajal substraadi suunas magnetvälja Lorentzi jõud ja need on piiratud sihtpinna lähedal asuva plasmapiirkonnaga. Sellel piirkonnal on suur plasmatihedus ja sekundaarsed elektronid liiguvad magnetvälja mõjul ringikujuliselt ümber sihtpinna.
See pikk liikumistee hõlmab pidevaid kokkupõrkeid argooni aatomitega, ioniseerudes suureks hulgaks argooniioonideks, mis pommitavad sihtmaterjali. Pärast mitut kokkupõrget kaotavad elektronid järk-järgult energiat, vabanevad magnetvälja joontest, eemalduvad sihtmaterjalist ja ladestuvad lõpuks substraadile. Nüüd, lisades keskmise sagedusega magnetroni pihustusobjekti, kiirendab kile aurustuvaid molekule ja pommitab sihtmaterjal elektrivälja toimel, pritsides välja suure hulga sihtmärk-aatomeid.
Neutraalsed sihtaatomid (või -molekulid) ladestatakse substraadile, moodustades kile, mis lahendab kiletüüpide probleemi, mida varem ei saanud loodusliku aurustamise teel töödelda, näiteks titaaniga katmine, tsirkooniumiga katmine jne.
Praegu kasutatakse vaakumtorudes tavaliselt alumiinium{0}}lämmastikkomposiitkilet. Kogu kile koosneb kolmest kihist: sisemine, keskmine ja välimine, millest igaühel on oma funktsioon. Sisemine kiht on peegeldav kiht, mille põhiülesanne on takistada torus oleva kuuma vee soojuse kiirgamist väljapoole.
Keskmine kiht on neelduv kiht, mille põhiülesanne on neelata valgusenergiat ja muundada see soojusenergiaks.
Väliskiht on peegeldusvastane{0}}kiht, mille põhiülesanne on vähendada päikesevalguse peegeldust ja suurendada päikesevalguse neeldumiskiirust.
