Puyuani pideva magnetroniga pihustuskatte tootmisliin

Pidev Magnetron Sputtering Coating Tootmisliin on kõrgelt spetsialiseerunud tootmissüsteem, mida kasutatakse peamiselt ühe või mitme kihi üliõhukeste funktsionaalsete kilede sadestamiseks substraatide (nt klaas, plast, metall, keraamika, pooljuhtvahv jne) pinnale.

Selle tuumaks on kattematerjali aurustamine või ioniseerimine erinevate füüsikaliste meetodite abil suure vaakumiga keskkonnas ja seejärel selle kondenseerimine aluspinna pinnal olevaks kileks.

Vase, hõbeda ja muude juhtivate materjalide vaakumkatmine elektrikomponentkeraamika ja trükkplaatide keraamika pinnale.

 

See sobib ka mitmesuguste metallkilekihtide vaakum-sadendamiseks muude plaatide{0}}nagu töödeldavate detailide (klaas, akrüülplaat jne) pinnale;

Magnetväli piirab plasmat

See on magnetroni pihustamise põhiomadus. Rakendades sihtpinna lähedale kindla kujuga tugevat magnetvälja (tavaliselt rõnga või võidusõiduraja kuju), piiratakse elektronid sihtpinna lähedale, et tekitada spiraalne liikumine, mis suurendab oluliselt elektronide kokkupõrke ja ioniseerumise tõenäosust töögaasi (tavaliselt argooni) aatomitega.

Kõrge ionisatsioonikiirus ja kõrge sadestumise kiirus

Magnetvälja piiramine suurendab oluliselt plasma tihedust ja ionisatsioonikiirust, muutes pihustusprotsessi tõhusamaks.

See tähendab, et suhteliselt madala gaasirõhu ja madala pommitamispinge/võimsuse korral on võimalik saavutada palju suuremaid pihustus- ja sadestamiskiirusi kui tavalise alalisvoolu pommitusega.

Madala temperatuuriga protsess

Kuna suurem osa energiast kulub gaasi ja pihustamise sihtmärkaatomite ioniseerimiseks, kandub substraadile suhteliselt vähe soojust.

Hea filmi kvaliteet

Hea tihedus, tugev adhesioon, kõrge puhtus ja hea ühtlus.

Lai valik materjali kohandatavust

Hea protsessi juhitavus

Magnetronpihustuskatte tootmisliinist on saanud üks peamisi tehnoloogiaid funktsionaalsete õhukeste kilede (nagu optilised kiled, juhtivad kiled, kulumiskindlad kõvakiled, dekoratiivkiled, korrosioonivastased kiled, magnetkiled, pooljuhtkiled jne) valmistamisel tänapäevases tööstuses tänu oma põhiomadustele, suurepärastele protsesside eelistele (kõrge temperatuur, tugev ladestuskiirus, madal kile). adhesioon), materjali lai kohanemisvõime, hea ühtlus ja juhitavus. Sellel on väga laialdased rakendused mikroelektroonikas, lameekraanidel, päikesepatareidel, tööriistade katetel, autoosade, pakendite, dekoratsioonide, optiliste seadmete ja muudes valdkondades.